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我國首臺全自動引線鍵合機研制成功
新聞來源: 發布日期:2011-06-07 閱讀:3363
      近日,由中國電科第45研究所承擔的國內第一臺具有完全自主知識產權的全自動引線鍵合機成功地完成了連續焊線,標志著我國微電子封裝裝備技術發展再一次取得了重大突破,該設備各項工藝技術指標完全符合“十一五”國家集成電路制造裝備重大專項(02專項)規定的指標。
 
      長期以來,我國微電子技術后封裝環節技術密集度最高的關鍵設備----全自動引線鍵合機始終沒有取得突破,完全被發達國家所壟斷,制約了我國集成電路產業的發展。該設備的研制成功,標志著我國打破了微電子技術后封裝環節的關鍵技術瓶頸。
 
      該設備在計算機控制、精密機械、光學、圖像處理、超聲波、溫度控制等多個領域實現了技術上的重大突破,自行編寫了龐大的軟件系統,設計開發了運動控制器等電氣系統,其中X、Y、Z向運動分別可達15G、15G、100G以上的加速度(F1賽車運動員和宇航員承受的最大加速度為5G和6G)。該項目共申請國家專利15項。
 
      全自動引線鍵合機是微電子技術后封裝領域用量最大的設備(全球一年約15000臺,中國大陸約8000臺),下一步,中國電科將通過半年到一年的工藝試驗、改進、完善和優化工作,實現全自動引線鍵合機商業化、產業化,打破此種設備長期完全依賴進口的局面。
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